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      晶圓高低溫測試系統

      晶圓高低溫測試系統

      晶圓高低溫測試系統
      • 技術參數



      半導體晶圓熱測試系

      用于在溫度下進行晶片測試的導電加熱和冷卻系統。它的主要用途是用于在探針臺中進行晶圓測試,以及激光修剪和晶圓老化。一些專門的應用包括低泄漏探測(fA級)和高壓探測(高達10kV)。

      l 65℃至+300℃

      l 150mm,200mm和300mm

      l 現有探針臺可進行改造


      系統通常針對特定的探針臺進行高度配置。匹配您的應用程序所需的重要參數
      :

      l 卡盤尺寸(直徑)

      l 需要溫度范圍

      l 探針臺卡盤的品牌和型號,將被安裝的位置

      l 表面(金或鎳)上是否需要鍍層

      l 其他考慮因素(低噪聲探測、高壓探測等)

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